半導体製造装置の輸送で留意すべき点
半導体製造装置を輸送する際は、通常の貨物輸送以上に細心の注意を払う必要があります。
ここでは半導体製造装置を輸送するにあたって留意するべき点と、それぞれの対策をご紹介します。
1点目が振動や衝撃です。半導体は振動や衝撃といった外的影響に非常に弱いことが特徴です。半導体は非常に繊細であるため、見た目には問題が無くても、輸送中の振動や衝撃によって破損や不具合の原因となるため、留意する必要があります。フェリーのRoll-on/Roll-off荷役方式では、荷役作業時の振動や衝撃を大幅に抑えることができます。また、振動や衝撃をやわらげるエアサスペンション付きシャーシを自社で所有しておりますので、より安全な半導体製造装置輸送のご提案が可能になります。
2点目が温湿度管理です。半導体は、温度や湿度の変化に非常に敏感であるため、適切な温度、湿度の環境化で管理をしないと機器の動作不良や損傷を引き起こす可能性があります。また、50％以上の湿度になると半導体の腐食や錆が発生する可能性があるため、輸送中には湿度を一定に保ち、湿度変化を最小限に抑える必要があります。
そのようなデリケートな半導体製造装置輸送に対応するため、自社で所有している温度管理が可能なリーファーコンテナや協力会社が所有する温度と湿度ともに調整可能な特殊コンテナを使用することによって、高い輸送品質で安全・安心な半導体製造装置輸送をご提供いたします。
